국내 유일 오버레이 계측 장비 전문 기업, ㈜오로스테크놀로지
㈜오로스테크놀로지는 2009년 설립되어 반도체 전 공정 분야의 계측 장비를 주력으로 생산하는 업체로 2011년 국내 최초로 오버레이 계측장비 양산에 성공했다. 이후 High Performance AF System 등 다수의 핵심 기술들을 꾸준히 개발해오고 있다. 이러한 선진 기술력을 바탕으로 전문 평가기관의 기술성 평가에서 우수등급을 확보하고, 소부장 강소기업으로 선정되며 계측장비 분야에서 인정받았다.
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2019 제12회 반도체의 날 국무총리 표창 수상

○ 국내 유일 오버레이 계측장비 업체, 선진 기술력 인정받아

오로스테크놀로지는 반도체 전 공정 계측장비 전문 업체로서 해외업체가 장악하고 있는 오버레이 계측 장비 부분에서 유일하게 국산화 및 양산에 성공한 장비 기업이다. 오버레이 계측장비는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에 여러 회로패턴 적층 시 회로 패턴 간의 수직방향 정렬도를 제어하는 장비로, 반도체 제조 공정이 점차 미세화되면서 반도체 정밀도는 수율에 직접적인 영향을 주는 요인이 됐다.

오로스테크놀로지는 2011년 국내 최초로 12인치 오버레이 계측장비의 자체 개발하며 국산화에 성공했으며, 최근 5세대 장비까지 개발하는 등 세계 반도체 시장에서도 점유율을 점차 높여가고 있다. 또한, 소부장 강소기업 100 선정, 세계일류상품 인증, 국무총리상수상 등 정부 인증을 받은 기술력을 갖췄으며 60여 개의 특허를 보유하고 있다.

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2021 코스닥 상장 기념 사진

○ 코스닥 상장 이후 성장 가속 페달 밟아

오로스테크놀로지는 지난 2021년 2월 코스닥 시장에 상장했으며, 상장 이후 성장의 박차를 가하고 있다. 지난 2021년 3분기 누적 매출액 341억 원, 영업이익 95억 원을 기록했다. 이는 지난해 같은 기간보다 각각 134%와 62% 증가한 수준으로 2020년의 연간 실적을 초과 달성한 규모다.

이러한 성장 견인에 바탕에는 고객이 필요로 한 시점에 최신 장비를 납품하여 제품 공정에 기여했다는 점에 있다. 오로스테크놀로지는 OL-900n 12인치 5세대 오버레이 장비를 2020년 말 양산 개시 후, 고객사의 신규 메모리 FAB에 공급했다. 이 장비는 EUV FAB에도 공급됐으며 경쟁사 장비 대비 향상된 성능을 발휘해 양산 적용하고 있다.

뿐만 아니라 한국나노기술원, 나노종합기술원에서 진행한 시스템반도체 개발용 제조 플랫폼 구축사업에도 국내 최초 8인치 오버레이 계측 장비인 ‘Overlay System OL-100n(이하 OL-100n)’를 공급했다. 오로스테크놀로지의 OL-100n은 6인치, 8인치 오버레이 측정 장비로, 레거시 프로세스 수요 증가에 대비해 12인치 측정 기술을 기반으로 자체적으로 개발한 장비이다. 6인치와 8인치 웨이퍼 핸들링이 모두 가능하며, 해외 경쟁사 기능 대비 업그레이드된 오버레이 성능을 제공한다. 빠른 측정 속도와 사용 편리성을 갖췄으며 동일 장비로 오버레이와 CD 계측까지 가능해 다양한 테스트 결과까지 기대할 수 있다.

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2017.03 SK하이닉스 기술혁신기업 선정

○ 고객 및 제품 다변화로 지속성장 이뤄갈 것

오로스테크놀로지는 고객 다변화의 일환으로 세계 시장 확대 거점 확보를 위해 중화 CS 오피스를 중화법인으로 확대시켰고, 실리콘밸리에 미국법인을 설립했다. 또한, 오로스테크놀로지의 OL-100n 장비는 기존의 오버레이 시장을 포함해 급성장하는 화합물 반도체에서도 필요성이 증가하고 있어, 다양한 글로벌 고객사로부터 웨이퍼 평가와 투자에 대한 협의를 진행하고 있다. 이미, OL-100n 장비는 대만과 한국의 제조업체에서 양산에 적용 중이며, 일본의 자동차 센서향 반도체 FAB의 평가에서도 우수 결과를 이끌어, 글로벌 고객사 확대와 장비의 다변화가 기대된다.

이외에도 오로스테크놀로지는 2021년 말 동탄 테크노밸리에 위치한 신공장에 입주하며 제품의 다변화를 통한 사업 확장에 나서고 있다. 신공장은 약 200평 규모의 클린룸이 구축된 곳으로 초정밀 박막(Thin Film) 계측 장비 개발을 위한 연구에 박차를 가한다. 박막 계측 장비는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 위에 증착된 박막의 두께가 균일한지 측정하는 장비로, 제품군 다양화의 일환으로 신규 장비 개발을 진행하고 있다. 박막 계측 장비의 경우 식각, 증착, 평탄화 등 다양한 공정에 적용할 수 있다는 점에서 유망한 시장으로 꼽힌다. 2022년 말까지 제품 개발을 완료해 미래성장 동력으로 삼을 계획이다.

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OL-900n